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　　半導(dǎo)體、TFT-為了避免工藝設(shè)備冷卻盤管的結(jié)垢和堵塞，LCD等行業(yè)的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)對工藝?yán)鋮s水水質(zhì)提出了要求。
　　以半導(dǎo)體廠工藝?yán)鋮s水設(shè)計水質(zhì)為例：電阻率＞30 kΩ? cm硬度＜0.5德國度因此，工藝?yán)鋮s水管道的選擇主要考慮兩個方面，一方面是對水質(zhì)的要求；另一方面，純水設(shè)備需要管道腐蝕。
　　工藝?yán)鋮s水管道主要有不銹鋼管道和塑料管道。
　　(1)不銹鋼管道
　　根據(jù)工藝?yán)鋮s水的水質(zhì)要求，SS304不銹鋼管可滿足要求，但半導(dǎo)體和TFT行業(yè)通常采用純水制備過程中產(chǎn)生的反滲透（RO）出水作為工藝?yán)鋮s水的補(bǔ)充水源，根據(jù)純水制備工藝的不同，RO出水的pH值也不同。當(dāng)水的pH值為中性或弱堿性時，可使用SS304不銹鋼。當(dāng)水的pH值為酸時（RO出水通常為酸，無堿），應(yīng)使用耐酸性好的SS304L不銹鋼。
　　根據(jù)不同工程的研究，不銹鋼管道的腐蝕發(fā)生在接口和管道底部。分析其主要原因，接口腐蝕主要是由于焊接過程中氬弧焊造成的氧化層損傷，導(dǎo)致氧化層下的不銹鋼金屬鉻合物腐蝕。管道底部腐蝕主要是由于管道沖洗自來水，自來水含有更多余氯，沖洗管道水未及時排空，導(dǎo)致局部管段集水，當(dāng)管道施工驗收系統(tǒng)長期未投入運行時，容易造成不銹鋼氯腐蝕，不銹鋼氯離子腐蝕為應(yīng)力腐蝕，在“奧氏體不銹鋼”中-CL溶液中氧的存在促進(jìn)金屬鈍化，氯離子破壞金屬鈍化，進(jìn)入裂縫尖端，形成鹽酸，加劇腐蝕。
　　因此，在選擇不銹鋼管道時，應(yīng)考慮一定的腐蝕余量。至少應(yīng)選擇壁厚等級為Sch-10S的產(chǎn)品，并采用正確的焊接方法。管道沖洗后，純水設(shè)備應(yīng)清空干燥管道內(nèi)的水。
　　(2)塑料管
　　PVC管道可根據(jù)工藝?yán)鋮s水的水質(zhì)要求滿足要求。常用的PVC有兩種，硬質(zhì)PVC（PVC-U）由聚乙烯單體聚合而成的熱塑性聚合物化合物；氯化聚氯乙烯（PVC-C）聚氯乙烯樹脂氯化得到的一種獨特的聚合物。由于聚氯乙烯管道具有較強(qiáng)的耐腐蝕性，即使水質(zhì)為弱酸、弱堿性，也不會引起管道腐蝕。
　　然而，塑料管道應(yīng)注意工作壓力。由于工藝設(shè)備中冷卻管徑小，水頭損失大。因此，工藝?yán)鋮s循環(huán)水系統(tǒng)的工作壓力較高，管道的壓力等級應(yīng)根據(jù)應(yīng)力計算確定。需要特別注意的是，管道的壓力等級并不等于管道的設(shè)計
　　公式中:P是管道允許的工作壓力（MPa）；
　　d為管道外徑（mm）；
　　E為管道壁厚（mm）；
　　C為設(shè)計系數(shù)；
　　σ為管道應(yīng)力（MPa）。
　　以PN16 PVC-以U管為例，管徑110 mm×8.1 mm，管道應(yīng)力15.5 MPa，設(shè)計系數(shù)2.5，液體溫度40℃。
　　可見，雖然管道的壓力等級為PN16，但該管道的允許工作壓力為9.86 MPa。